全部作者：范存养 徐文华 林忠
文献出处：《暖通空调》 年份：2001 期数：5
论文摘要：
微电子工业空气洁净技术的若干进展 【英文篇名】 Technical advancement of air cleaning in the micro-electronic industry 【作者中文名】 范存养; 徐文华; 林忠平; 【作者英文名】 By Fan Cunyang; Xu Wenhua and Lin Zhongping?Tongji University; China; 【作者单位】 同济大学; 【文献出处】 暖通空调, Hv 空气洁净技术; 分子态污染物质; 微环境控制; 【英文关键词】 micro electronic industry; air cleaning technology; airborne molecular contaminants; micro environment control; 【摘要】 微电子工业的飞速发展对生产环境的空气洁净度提出了更高的要求。从分子态化学污染控制、高洁净度微环境控制、新型洁净产品、运行节能等方面介绍了近年的技术发展动向 【英文摘要】 The high speed development of the micro electronic industry requires even higher air cleaning levels. Presents technical tendencies in this field from the aspects of control of the airborne molecular contaminants, maintenance of high cleanliness in micro environment, recently developed products, operation energy efficiency etc.
关键词：若干 进展 技术 工业 空气 of
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