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半导体厂房空调、净化系统设计探讨

上传时间:2017-07-27 浏览量:129
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全部作者:吕纯 

文献出处:上海先进半导制造股份有限公司 年份:2017

论文摘要:
伴随当今科学技术的日益发展及工业化的逐步推进,许多先进技术被广泛的应用在工业领域当中,有效推动了工业化的发展与完善。文章以半导体厂房为例,首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案,且结合笔者自身多年从事厂房洁净空调系统工作的经验,归纳总结了洁净空调系统设计当中些许关键性的设计要点,以期为相关应用设计及研究提供理论参考。

关键词:半导体厂房 空调净化系统 设计 

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