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影响SMIF微环境中气流状态因素的探讨

上传时间:2009-10-21 浏览量:39
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全部作者:梁家富 徐玉党 

文献出处:互联网

论文摘要:
梁家富 徐玉党 华中科技大学建筑环境与设备工程系,武汉470073 摘 要: 在洁净室中应用SMIF微环境技术可以有效减少气体微粒,并实现硅片同工作人员及工艺设备的相互隔离。本文主要论述气流对微粒运动的影响,在微环境SMIF系统中的气流状况,以及影响微环境中的气流因素进行分析。 关键词: SMIF 气流状况 微环境 洁净技术

关键词:SMIF 气流状况 微环境 洁净技术 

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