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真空系统漏油情况的系统分析

上传时间:2010-02-03 浏览量:43
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全部作者:黄坚 耿佐力 

文献出处:洁净与空调技术

论文摘要:
【中文关键词】 真空系统; 旋片式真空泵; 真空阀; 气镇阀; 漏油; 【英文关键词】 Vacuum system; Rotary vane vacuum pump; Vacuum valve; Pneumatic valve; Oil leak; 【中文摘要】 以某微电子工程真空系统为例,对其漏油故障进行分析,并给出检修思路和故障排除方法。

关键词:真空系统 旋片式真空泵 真空阀 

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